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新聞詳情
碳化硅晶圓表面打磨，用MSIY自動換刀浮動主軸
日期：2025-08-03 17:51
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摘要：3060AQC自動換刀浮動主軸，除了可以實現氣動換刀之外，還可以實現徑向、軸向雙向浮動，浮動力可調節，可防止過度打磨的情況發生，有利于保持產品良好的光潔度。
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